德國蔡司掃描電子顯微鏡EVO系列-華普通用

型號:EVO系列
蔡司 EVO 系列模塊化的 SEM 平臺適用于直觀操作、例行檢測和研究應(yīng)用

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產(chǎn)品描述

蔡司 EVO 系列

模塊化的 SEM 平臺適用于直觀操作、例行檢測和研究應(yīng)用

EVO系列將高性能的掃描電鏡和直觀的、友好的用戶界面體驗(yàn)結(jié)合在一起, 同時(shí)能夠吸引經(jīng)驗(yàn)豐富的用戶以及新用戶。無論是在生命科學(xué), 材料科學(xué), 或例行的工業(yè)質(zhì)量保證和失效分析領(lǐng)域,憑借廣泛的可選配置, EVO 都可以根據(jù)您的要求量身定制。

  • 顯微鏡中心或工業(yè)質(zhì)量保證實(shí)驗(yàn)室的多功能解決方案

  • 不同的真空室大小和可滿足所有應(yīng)用要求的載物臺選項(xiàng)-甚至是大型工業(yè)零部件樣品

  • 使用LaB6燈絲,能夠得到優(yōu)異的圖像質(zhì)量

  • 對不導(dǎo)電和無導(dǎo)電涂層的樣品的成像和分析性能出色

  • 可以配置多種分析探測器用于滿足各種顯微分析應(yīng)用的需求

優(yōu)勢

SmartSEM Touch

便捷的可用性

SmartSEM Touch可以通過使用您的指尖與其進(jìn)行交互式工作流程控制。它簡單易學(xué), 大大減少了培訓(xùn)所付出的努力和成本,甚至新用戶在幾分鐘內(nèi)也能夠捕捉令人驚嘆的圖像。此用戶界面還支持需要自動化工作流程以執(zhí)行可重復(fù)檢查任務(wù)的工業(yè)操作員。

maximum data quality

優(yōu)異的圖像質(zhì)量

EVO 擅長于對未經(jīng)處理和沒有導(dǎo)電涂層的樣品獲取高質(zhì)量的數(shù)據(jù)。EVO 還允許樣品保留其原始狀態(tài), 維持含水和重污染樣品的數(shù)據(jù)質(zhì)量。此外當(dāng)成像和微量分析面臨挑戰(zhàn)時(shí),選用LaB6燈絲則能夠給予更好的分辨率、 對比度和信噪比。

EVO can be configured to be part of a semi-automated multi-modal workflow

EVO 能夠與其它設(shè)備相關(guān)聯(lián)

EVO可以作為半自動、多模式工作流程的一部分,通過重新定位感興趣區(qū)域,并以多種方式收集數(shù)據(jù),形成信息的完整性。將光學(xué)和電子顯微鏡圖像合并起來進(jìn)行材料表征或零件檢驗(yàn),或者將 EVO 與蔡司光學(xué)顯微鏡相關(guān)聯(lián),進(jìn)行關(guān)聯(lián)顆粒度分析。

適合更多用戶操作

對于經(jīng)驗(yàn)豐富的以及新手用戶操作都很方便

在實(shí)際的實(shí)驗(yàn)室環(huán)境中,SEM 的操作通常是顯微鏡專家的專屬領(lǐng)域。但是對于非專家級用戶來說,操作SEM就變得具有挑戰(zhàn),比如學(xué)生、受訓(xùn)者或質(zhì)量工程師,他們往往也需要從 SEM獲取數(shù)據(jù)。 EVO 則同時(shí)考慮了這兩類用戶的需求,用戶界面選項(xiàng)既能滿足有經(jīng)驗(yàn)的顯微鏡專家也能滿足非專業(yè)用戶的操作需要。

Expert users
專家用戶
優(yōu)選用戶界面: SmartSEM

專家用戶可以獲取以及設(shè)定高級的成像參數(shù)和分析功能。

SmartSEM: 為有經(jīng)驗(yàn)用戶使用的控制界面

SmartSEM: 為有經(jīng)驗(yàn)用戶使用的控制界面

Novice users
新手用戶
優(yōu)選用戶界面: SmartSEM Touch

新手用戶可以使用預(yù)定義的工作流程和常用的一些參數(shù)-非常適合初學(xué)者。

SmartSEM Touch: 是一款在觸摸屏電腦上運(yùn)行的簡化圖形用戶界面

SmartSEM Touch: 是一款在觸摸屏電腦上運(yùn)行的簡化圖形用戶界面

智能導(dǎo)航與成像

大大提高樣品的測試效率,以及更多的數(shù)據(jù)產(chǎn)出

ZEISS Navigation Cameras

蔡司導(dǎo)航相機(jī)

相機(jī)可以安裝在倉室前方, 以監(jiān)測樣品與背散射探測器以及物鏡底端之間的相對位置(倉室相機(jī));或安裝在真空室倉門上方 (導(dǎo)航相機(jī)), 利用俯視圖查看樣品臺上樣品的擺放位置。此視圖可用于設(shè)置從光學(xué)顯微鏡圖像中識別出的預(yù)定義位置, 并在整個(gè)樣品測試過程中輕松導(dǎo)航。

Automated Intelligent Imaging

自動化智能成像

EVO實(shí)現(xiàn)了對樣品批量自動、無人值守的圖像采集。蔡司自動化智能成像非常適合例行檢測。它使用戶能夠自定義邊界區(qū)域,自動生成所需的視圖或放大倍數(shù)確定的感興趣區(qū)域,并開始自動獲取圖像。自動化智能成像將大大提高樣品的測試效率,以及更多的數(shù)據(jù)產(chǎn)出。

將您的研究提升一個(gè)層次

使用六硼化鑭電子發(fā)射器能夠獲得更好的圖像

六硼化鑭陰極相較于傳統(tǒng)的鎢發(fā)夾燈絲所發(fā)射的電子能夠保證您額外所需要的圖像質(zhì)量。這種優(yōu)勢體現(xiàn)在以下兩個(gè)方面:

  • 在相等電子探針尺寸 (即分辨率) 下, 有更多探針電流可供使用, 從而使圖像導(dǎo)航和優(yōu)化更容易

  • 在相等的探針電流 (信噪比) 下, 光斑直徑要小得多, 從而提高了圖像分辨率


低加速電壓下高放大倍率的催化劑粒子 (左: 使用鎢燈絲, 右: 使用LaB6燈絲)
當(dāng)在具有挑戰(zhàn)性的成像條件下, 使用LaB6燈絲的用戶將有高達(dá)10倍的光束亮度, 從而提高了圖像分辨率和對比度。

EVO 能夠與其它設(shè)備相關(guān)聯(lián)

工作流程自動化和關(guān)聯(lián)顯微鏡的好處

Shuttle & Find 將EVO、光學(xué)顯微鏡和數(shù)碼顯微鏡組成一個(gè)關(guān)聯(lián)的、多模態(tài)工作流程

Shuttle & Find 將EVO、光學(xué)顯微鏡和數(shù)碼顯微鏡組成一個(gè)關(guān)聯(lián)的、多模態(tài)工作流程

 

由于蔡司是各種類型顯微鏡和計(jì)量系統(tǒng)的優(yōu)秀供應(yīng)商, 所以您還可以將EVO 與蔡司其它解決方案相結(jié)合,使其功能能夠發(fā)揮得更好。

通過使用Shuttle & Find(蔡司關(guān)聯(lián)顯微鏡的軟硬件部分),您可以在(數(shù)碼)光學(xué)顯微鏡和 EVO 之間建立一個(gè)高效的多模式聯(lián)用的工作流程。將光學(xué)顯微鏡獨(dú)特的光學(xué)對比方法與同樣獨(dú)特的掃描電鏡成像和分析方法相結(jié)合, 獲得互補(bǔ)的數(shù)據(jù), 從而更清楚地去了解樣品的材料、質(zhì)量或失效機(jī)理。

蔡司 SmartEDX

用于常規(guī)SEM顯微分析應(yīng)用的一體化EDS解決方案

如果單采用SEM成像技術(shù)無法全面了解部件或樣品,研究人員就會借助能譜儀(EDS)來采集元素化學(xué)成份的空間分布信息。

ZEISS SmartEDX
  • 針對常規(guī)顯微分析應(yīng)用進(jìn)行了優(yōu)化

 SEM和EDS的搭配使用必須經(jīng)過謹(jǐn)慎細(xì)致的考量。EVO上的SmartEDX非常適用于常規(guī)顯微分析應(yīng)用,尤其對于數(shù)據(jù)重復(fù)性要求高的客戶而言更是理想的選擇。它在129 eV能量分辨率和1-5 nA探頭電流(典型的EVO工作條件)下具有很高的通量。得益于氮化硅窗口的優(yōu)異透過率, SmartEDX更適合于探測到來自輕元素的低能X射線。


 

Workflow-guided graphical user interface
  • 工作流程引導(dǎo)的圖形用戶界面

 SmartEDX旨在提高多用戶環(huán)境中的易用性和工作流程重復(fù)性。與其他蔡司工作流程引導(dǎo)的軟件解決方案(如:SmartSEM Touch,ZEN core或EVO 的Shuttle&Find)一樣,SmartEDX軟件易于學(xué)習(xí),使用直觀,并有助于確保在SEM上執(zhí)行分析任務(wù)的重復(fù)性,尤其是在多個(gè)操作者使用該系統(tǒng)的環(huán)境中。


 

Total ZEISS service and system support
  • 全方位的蔡司服務(wù)和系統(tǒng)支持

    SmartEDX由蔡司提供全方位支持,因此該EDS解決方案非常適合那些希望精簡分析設(shè)備供應(yīng)商數(shù)量的客戶。所有安裝、預(yù)防性維護(hù)、保修、診斷和維修、備件物流以及整個(gè)系統(tǒng)服務(wù)合同中的內(nèi)容均由蔡司全面負(fù)責(zé),為您的SEM分析解決方案提供一站式的的支持。


 

EVO 系列

真空室尺寸選擇


蔡司EVO 10

蔡司EVO 15

蔡司EVO 25


 

選擇 EVO 10(可選配BSD和EDS)是您想以一個(gè)非常實(shí)惠的價(jià)格購買掃描電子顯微鏡的切入點(diǎn)。即使這個(gè)EVO真空室很小,它也不同于臺式電鏡。您現(xiàn)在在 EVO 的投資保證了您已經(jīng)為將來需要更多空間和端口的應(yīng)用做好了準(zhǔn)備。

 

EVO 15 充分展示了 EVO 家族的靈活性概念, 并擅長于分析應(yīng)用。選擇 EVO 15 更大的真空室, 并增加對不導(dǎo)電樣品或零件的成像和分析的可變壓力模式, 你將有一個(gè)多功能多用途的顯微鏡設(shè)備或者工業(yè)質(zhì)量保證實(shí)驗(yàn)室的解決方案。

EVO25 是工業(yè)的主力解決方案, 它有足夠的空間以容納甚至更大的部件和組件??蛇x的 80 mm Z 軸行程載物臺可進(jìn)一步擴(kuò)展 EVO 25的功能, 它可以處理重量高達(dá)2公斤的樣品甚至傾斜。此外, 大的真空室將能夠容納多個(gè)分析檢測器以滿足苛刻的微量分析應(yīng)用需求。

最大樣品高度

100 mm

145 mm

210 mm

最大樣品直徑

230 mm

250 mm

300 mm

電動載物臺行程XYZ

 

80 x 100 x 35 mm

 

125 x 125 x 50 mm

130 x 130 x 50 (或 80) mm

高真空模式 (HV) 
導(dǎo)電樣品質(zhì)量的成像與分析
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可變壓力模式 (VP) 

不導(dǎo)電且不噴涂導(dǎo)電層樣品的高質(zhì)量成像和分析

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擴(kuò)展壓力模式 (EP)
含水或被污染的樣品在其自然狀態(tài)下成像
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蔡司 EVO 應(yīng)用案例

應(yīng)用實(shí)例

  • 生產(chǎn)與裝配企業(yè)

  • 電子行業(yè)

  • 鋼鐵和其它金屬

  • 原材料

  • 材料科學(xué)

  • 生命科學(xué)

  • 司法鑒定

  • 生產(chǎn)與裝配企業(yè)

     

    鋅磷酸鹽電涂層, 高真空模式下使用 SE 探測器成像

    鋅磷酸鹽電涂層, 高真空模式下使用 SE 探測器成像

    汽車座椅墊泡沫, 可變真空模式下使用BSE探測器成像,樣品未噴涂導(dǎo)電層。

    汽車座椅墊泡沫, 可變真空模式下使用BSE探測器成像,樣品未噴涂導(dǎo)電層

    不銹鋼斷口表面, 高真空模式二次電子成像

    不銹鋼斷口表面, 高真空模式二次電子成像

    • 質(zhì)量分析/質(zhì)量控制

    • 失效分析/金相分析

    • 清潔度檢查

    • 顆粒的形態(tài)和化學(xué)分析, 以滿足 ISO 16232 和 VDA 19 中1和2的標(biāo)準(zhǔn)

    • 非金屬夾雜物的分析


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