日本理學(xué)波長(zhǎng)色散X射線熒光光譜儀WDA 3650-華普通用
產(chǎn)品描述
用于薄膜評(píng)估的波長(zhǎng)色散X射線熒光光譜儀
同時(shí)對(duì)各種薄膜的薄膜厚度和成分進(jìn)行無(wú)損、非接觸式分析
這是一種波長(zhǎng)色散X射線熒光光譜儀(WD-XRF),可以以非破壞性和非接觸方式同時(shí)分析尺寸達(dá)~200mm的晶圓上各種薄膜的厚度和組成。 XYθZ驅(qū)動(dòng)樣品臺(tái)(專(zhuān)利方法)可以精確分析各種金屬膜,避免衍射射線的影響。 4kW大功率X射線管可實(shí)現(xiàn)超輕元素的高精度分析,例如BPSG薄膜的痕量元素測(cè)量和硼分析。 還支持C-to-C運(yùn)輸機(jī)器人(可選)。 它配備了自動(dòng)校準(zhǔn)(全自動(dòng)每日檢查和強(qiáng)度校正功能)。
支持微量元素的濃度和成分分析
適用于從輕元素到重元素的各種元素: 4是~92U
高靈敏度硼檢測(cè)儀AD-硼
我們不斷開(kāi)發(fā)新的光學(xué)系統(tǒng),例如提高硼分析能力,以提高分析的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性。 此外,降溫機(jī)構(gòu)和真空度穩(wěn)定機(jī)構(gòu)是穩(wěn)定的標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備。
X-Y-θ 驅(qū)動(dòng)級(jí)
X-Y-θ驅(qū)動(dòng)樣品臺(tái)和測(cè)量方向設(shè)置程序可以在整個(gè)晶圓上精確測(cè)量薄膜厚度和成分分布。 鐵電薄膜也不受衍射光束的影響。
應(yīng)用
半導(dǎo)體器件BPSG,SiO2四3N4、??摻雜多晶硅(B,P,N,AS), Wsix、??Al-Cu, TiW, TiN、TaN, PZT, BST, SBT, ??MRAM、?? 金屬膜 W, Mo, Ti, Co, Ni, Al, Cu, Ir, Pt, Ru, ? 磁盤(pán) CoCrTa, CoCrPt, DLC, ?
NiP, ?
磁光盤(pán) Tb-FeCo, ? 磁頭 GMR, TMR, ?
廣泛的固定測(cè)角儀產(chǎn)品陣容
我們根據(jù)膜厚和膜結(jié)構(gòu)提供最合適的固定測(cè)角儀。 我們還在準(zhǔn)備一個(gè)專(zhuān)用的光學(xué)系統(tǒng),可以分析硅晶圓上的Wsix薄膜。
全自動(dòng)日常管理功能自動(dòng)校準(zhǔn)
為了獲得準(zhǔn)確的分析值,必須對(duì)儀器進(jìn)行正確校準(zhǔn)。 為此,必須定期測(cè)量檢查晶圓和PHA調(diào)整晶圓作為管理晶圓,以保持設(shè)備的健康狀況。 這種常規(guī)校準(zhǔn)工作是完全自動(dòng)化的,減少了操作員的工作量。 這就是AutoCal功能。
與 C-to-C 自動(dòng)輸送兼容
除了開(kāi)放式暗盒外,還支持 SMIF POD。 兼容200mm以下的晶圓。 此外,還可以與主機(jī)進(jìn)行SECS通信,并支持各種CIM/FA格式。
緊湊節(jié)能設(shè)計(jì)
主機(jī)占地面積1m2下面的緊湊型設(shè)計(jì)。 無(wú)油變壓器的使用也使輔助設(shè)備更加緊湊和節(jié)能設(shè)計(jì)。
同時(shí)評(píng)估薄膜厚度和成分
適用于所有薄膜類(lèi)型
支持小于 200 mm 的晶圓和介質(zhì)盤(pán)
高分析性能、準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性
獲得專(zhuān)利的XYθZ驅(qū)動(dòng)樣品臺(tái),可獲得準(zhǔn)確的XRF結(jié)果
高靈敏度硼分析(帶AD硼通道)
使用可選的 C 到 C 自動(dòng)加載器進(jìn)行自動(dòng)校準(zhǔn)
無(wú)油變壓器X射線發(fā)生器
功耗比以前的型號(hào)低 23%
規(guī)格/規(guī)格
產(chǎn)品名稱(chēng) | WDA-3650 |
技術(shù) | 同步波長(zhǎng)色散X射線熒光光譜儀(WD-XRF) |
用 | 最大 200 mm 晶圓的多層堆疊的厚度和成分 |
科技 | 4 kW X 射線發(fā)生器,帶 XYθ 樣品臺(tái),Rh 陽(yáng)極 WDXRF |
主要成分 | 多達(dá) 20 個(gè)通道,固定類(lèi)型(?Be 至 ??U),掃描類(lèi)型(??Ti 至 ??U) |
選擇 | 靈敏的AD-硼通道,使用C-c-C自動(dòng)加載器進(jìn)行自動(dòng)校準(zhǔn) |
控制(電腦) | 內(nèi)置電腦,微軟視窗?操作系統(tǒng) |
車(chē)身尺寸 | 1120(寬)x 1450(高)x 890(深)毫米 |
質(zhì)量 | 600公斤(主機(jī)) |
權(quán)力 | 三相 200 VAC 50/60 Hz、30 A 或單相 220-230 VAC 50/60 Hz 40 A |